收录自国家标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准基础信息 标准号：GB/T 28274-2012 标准中文名称：硅基MEMS制造技术 版图设计基本规则 标准英文名称：Silicon-based MEMS fabrication technology - The basic regulation of layout design 国家标准《硅基MEMS制造技术 版图设计基本规则》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位北京大学、中机生产力促进中心、中国电子科技集团第十三研究所、中国科学院上海微系统与信息技术 …
认准啦，用技术呵护全家！收录自国家标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准基础信息 标准号：GB/T 28277-2012 标准中文名称：硅基MEMS制造技术 微键合区剪切和拉压强度检测方法 标准英文名称：Silicon-based MEMS fabrication technology - Measurement method of cutting and pull-press strength of micro bonding area 国家标准《硅基MEMS制造技术 微键合区剪切和拉压强度检测方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员 …
认准啦，用技术呵护全家！收录自国家标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准基础信息 标准号：GB/T 28276-2012 标准中文名称：硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范 标准英文名称：Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for the dissolved wafer process 国家标准《硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位中国电子科技集团第十三研究所、中机生产力促进中心、北京大学、中国科学院上海 …
认准啦，用技术呵护全家！收录自国家标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准基础信息 标准号：GB/T 28275-2012 标准中文名称：硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范 标准英文名称：Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for KOH etch process 国家标准《硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位中国科学院上海微系统与信息技术研究所、重庆大学、东南大学、中国电子科技集团第四十九研究 …
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