收录自国家标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准基础信息 标准号：GB/T 28276-2012 标准中文名称：硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范 标准英文名称：Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for the dissolved wafer process 国家标准《硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位中国电子科技集团第十三研究所、中机生产力促进中心、北京大学、中国科学院上海 …
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