收录自国家标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准基础信息 标准号：GB/T 15861-2012 标准中文名称：离子束蚀刻机通用规范 标准英文名称：General specification of ion beam etching system 国家标准《离子束蚀刻机通用规范》由339-1（工业和信息化部（电子））归口，主管部门为工业和信息化部（电子）。主要起草单位中国电子科技集团公司第四十八研究所。主要起草人陈特超 、周大良 。全部代替GB/T 15861-1995 收录自国家标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提供 …