收录自国家标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准基础信息 标准号：GB/T 29505-2013 标准中文名称：硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法 标准英文名称：Test method for measuring surface roughness on planar surfaces of silicon wafer 国家标准《硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位有研半导体材料股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。主要起草人孙燕 、李莉 、卢立延 、 …