收录自国家标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准基础信息 标准号：GB/T 29844-2013 标准中文名称：用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范 标准英文名称：Specifications of metrology patterns for the evaluation of advanced photolithgraphy 国家标准《用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位上海华虹NEC电子有限公司。主要起草人王雷 、伍强 、朱骏 、陈宝钦 。 …
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