GB/T 30652-2014 《硅外延用三氯氢硅》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 30652-2014
- 标准中文名称：硅外延用三氯氢硅
- 标准英文名称：Trichlorosilane for silicon epitaxial
国家标准《硅外延用三氯氢硅》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位中锗科技有限公司、南京国盛电子有限公司、南京中锗科技股份有限公司。主要起草人赵立奎 、张莉萍 、谭卫东 、金龙 、刘新军 、郑华荣 。
- 标准号
- GB/T 30652-2014
- 发布日期
- 2014-12-31
- 实施日期
- 2015-09-01
- 标准类别
- 产品
- 中国标准分类号
- H83
- 国际标准分类号
- 29.045
29 电气工程 29.045 半导体材料 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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