GB/T 30654-2014 《Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 30654-2014
- 标准中文名称：Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法
- 标准英文名称：Test method for lattice constant of III-nitride epitaxial layers
国家标准《Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位中国科学院半导体研究所。主要起草人孙宝娟 、赵丽霞 、王军喜 、曾一平 、李晋闽 。
- 标准号
- GB/T 30654-2014
- 发布日期
- 2014-12-31
- 实施日期
- 2015-09-01
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- H21
- 国际标准分类号
- 77.040.20
77 冶金 77.040 金属材料试验 77.040.20 金属材料无损检测 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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