GB/T 30866-2014 《碳化硅单晶片直径测试方法》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 30866-2014
- 标准中文名称：碳化硅单晶片直径测试方法
- 标准英文名称：Test method for measuring diameter of monocrystalline silicon carbide wafers
国家标准《碳化硅单晶片直径测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子技术标准化研究院。主要起草人丁丽 、周智慧 、蔺娴 、郝建民等 。
- 标准号
- GB/T 30866-2014
- 发布日期
- 2014-07-24
- 实施日期
- 2015-02-01
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- H83
- 国际标准分类号
- 29.045
29 电气工程 29.045 半导体材料 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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