GB/T 30868-2014 《碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法》-国家标准
目录
标准基础信息
- 标准号：GB/T 30868-2014
- 标准中文名称：碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法
- 标准英文名称：Test method for measuring micropipe density of monocrystalline silicon carbide wafers―Chemically etching
国家标准《碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子技术标准化研究院。主要起草人丁丽 、周智慧 、郝建民 、蔺娴等 。
- 标准号
- GB/T 30868-2014
- 发布日期
- 2014-07-24
- 实施日期
- 2015-02-01
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- H83
- 国际标准分类号
- 29.045
29 电气工程 29.045 半导体材料 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
- 点击查看标准全文。