GB/T 31227-2014 《原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 31227-2014
- 标准中文名称：原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
- 标准英文名称：Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films
国家标准《原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院。主要起草单位上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心。主要起草人李慧琴 、梁齐 、路庆华 、何丹农 、张冰 。
- 标准号
- GB/T 31227-2014
- 发布日期
- 2014-09-30
- 实施日期
- 2015-04-15
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- J04
- 国际标准分类号
- 17.040.20
17 计量学和测量、物理现象 17.040 长度和角度测量 17.040.20 表面特征 - 归口单位
- 全国纳米技术标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国纳米技术标准化技术委员会
- 主管部门
- 中国科学院
标准全文
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