GB/T 31987-2015 《电子工业用气体 锗烷》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号:GB/T 31987-2015
- 标准中文名称:电子工业用气体 锗烷
- 标准英文名称:Gas for electronic industry—Germane
国家标准《电子工业用气体 锗烷》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位上海华爱色谱分析技术有限公司、佛山市华特气体有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、西南化工研究设计院。主要起草人方华 、裴友宏 、郭秀丽 、林宇巍 、陈熔 、周鹏云 。
- 标准号
- GB/T 31987-2015
- 发布日期
- 2015-09-11
- 实施日期
- 2016-05-01
- 标准类别
- 产品
- 中国标准分类号
- G86
- 国际标准分类号
- 71.100.20
71 化工技术 71.100 化工产品 71.100.20 工业气体 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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