GB/T 32188-2015 《氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 32188-2015
- 标准中文名称：氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
- 标准英文名称：The method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of GaN single crystal substrate
国家标准《氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司、中国科学院物理研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司、丹东新东方晶体仪器有限公司。主要起草人邱永鑫 、任国强 、刘争晖 、曾雄辉 、王建峰 、陈小龙 、王文军 、郑红军 、徐科 、赵松彬 。
- 标准号
- GB/T 32188-2015
- 发布日期
- 2015-12-10
- 实施日期
- 2016-11-01
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- H21
- 国际标准分类号
- 77.040
77 冶金 77.040 金属材料试验 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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