GB/T 32278-2015 《碳化硅单晶片平整度测试方法》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 32278-2015
- 标准中文名称：碳化硅单晶片平整度测试方法
- 标准英文名称：Test methods for flatness of monocrystalline silicon carbide wafers
国家标准《碳化硅单晶片平整度测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位北京天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所。主要起草人陈小龙 、郑红军 、张玮 、郭钰 。
- 标准号
- GB/T 32278-2015
- 发布日期
- 2015-12-10
- 实施日期
- 2017-01-01
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- H21
- 国际标准分类号
- 77.040
77 冶金 77.040 金属材料试验 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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