GB/T 32281-2015 《太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 32281-2015
- 标准中文名称：太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法
- 标准英文名称：Test method for measuring oxygen, carbon, boron and phosphorus in solar silicon wafers and feedstock by secondary ion mass spectrometry
国家标准《太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位江苏协鑫硅材料科技发展有限公司、北京合能阳光新能源技术有限公司、中铝宁夏能源集团有限公司、宁夏银星多晶硅有限责任公司、洛阳鸿泰半导体有限公司、新特能源股份有限公司。主要起草人薛抗美 、夏根平 、肖宗杰 、盛之林 、范占军 、蒋建国 、林清香 、徐自亮 、王泽林 、宋高杰 、刘国霞 。
- 标准号
- GB/T 32281-2015
- 发布日期
- 2015-12-10
- 实施日期
- 2017-01-01
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- H17
- 国际标准分类号
- 77.040.30
77 冶金 77.040 金属材料试验 77.040.30 金属材料化学分析 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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