收录自国家标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准基础信息 标准号：GB/T 32814-2016 标准中文名称：硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范 标准英文名称：Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process 国家标准《硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位西北工业大 …
认准啦，用技术呵护全家！收录自国家标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准基础信息 标准号：GB/T 32815-2016 标准中文名称：硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺规范 标准英文名称：Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the bulk silicon piezoresistance process 国家标准《硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位北京大学、中机生产 …
认准啦，用技术呵护全家！收录自国家标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准基础信息 标准号：GB/T 32817-2016 标准中文名称：半导体器件 微机电器件 MEMS总规范 标准英文名称：Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Generic specification for MEMS 国家标准《半导体器件 微机电器件 MEMS总规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位中机生产力促进中心、中国电子科技集团公司第十三研究所、中北大学、南京理工大学、大连理 …
认准啦，用技术呵护全家！收录自国家标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准基础信息 标准号：GB/T 32816-2016 标准中文名称：硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范 标准英文名称：Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the combination of the deep etching and bonding process 国家标准《硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管 …
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