收录自国家标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准基础信息 标准号：GB/T 32816-2016 标准中文名称：硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范 标准英文名称：Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the combination of the deep etching and bonding process 国家标准《硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管 …
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