收录自国家标准信息平台,认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提供推介展位,欢迎留言交流。 标准基础信息 标准号:GB/T 30867-2014 标准中文名称:碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法 标准英文名称:Test method for measuring thickness and total thickness variation of monocrystalline silicon carbide wafers 国家标准《碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为 …
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