收录自国家标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准基础信息 标准号：GB/T 30652-2014 标准中文名称：硅外延用三氯氢硅 标准英文名称：Trichlorosilane for silicon epitaxial 国家标准《硅外延用三氯氢硅》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位中锗科技有限公司、南京国盛电子有限公司、南京中锗科技股份有限公司。主要起草人赵立奎 、张莉萍 、谭卫东 、金龙 、刘新军 、郑华荣 。 收录自国家 …