收录自国家标准信息平台,认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提供推介展位,欢迎留言交流。 标准基础信息 标准号:GB/T 31225-2014 标准中文名称:椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法 标准英文名称:Test method for the thickness of silicon oxide on Si substrate by ellipsometer 国家标准《椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法》由TC279(全国纳米技术标准化技术委员会)归口,主管部门为中国科学院。主要起草单位上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心。主要起草人金承钰 、李威 、梁齐 、路庆华 、何丹 …
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