收录自国家标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准基础信息 标准号：GB/T 32814-2016 标准中文名称：硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范 标准英文名称：Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process 国家标准《硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位西北工业大 …
认准啦，用技术呵护全家！