GB/T 19921-2018 《硅抛光片表面颗粒测试方法》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 19921-2018
- 标准中文名称：硅抛光片表面颗粒测试方法
- 标准英文名称：Test method for particles on polished silicon wafer surfaces
国家标准《硅抛光片表面颗粒测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位有研半导体材料有限公司、上海合晶硅材料有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、南京国盛电子有限公司、有色金属技术经济研究院、天津市环欧半导体材料技术有限公司。主要起草人孙燕 、刘卓 、冯泉林 、徐新华 、张海英 、骆红 、刘义 、杨素心 、张雪囡 。全部代替GB/T 19921-2005
- 标准号
- GB/T 19921-2018
- 发布日期
- 2018-12-28
- 实施日期
- 2019-07-01
- 全部代替标准
- GB/T 19921-2005
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- H21
- 国际标准分类号
- 77.040
77 冶金 77.040 金属材料试验 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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