GB/T 26068-2018 《硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 26068-2018
- 标准中文名称：硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法
- 标准英文名称：Test method for carrier recombination lifetime in silicon wafers and silicon ingots—Non-contact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance method
国家标准《硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位有研半导体材料有限公司、瑟米莱伯贸易（上海）有限公司、中国计量科学研究院、浙江省硅材料质量检验中心、广州市昆德科技有限公司、江苏协鑫硅材料科技发展有限公司、天津市环欧半导体材料技术有限公司、北京合能阳光新能源技术有限公司。主要起草人曹孜 、孙燕 、黄黎 、赵而敬 、徐红骞 、高英 、石宇 、楼春兰 、王昕 、张雪囡 、林清香 、刘卓 、肖宗杰 。全部代替GB/T 26068-2010
- 标准号
- GB/T 26068-2018
- 发布日期
- 2018-12-28
- 实施日期
- 2019-11-01
- 全部代替标准
- GB/T 26068-2010
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- H21
- 国际标准分类号
- 77.040
77 冶金 77.040 金属材料试验 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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