GB/T 34326-2017 《表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法》-国家标准

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标准基础信息

  • 标准号:GB/T 34326-2017
  • 标准中文名称:表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法
  • 标准英文名称:Surface chemical analysis—Depth profiling—Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS

国家标准《表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法》由TC38(全国微束分析标准化技术委员会)归口,TC38SC2(全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位中国计量科学院。主要起草人王海 、王梅玲 、张艾蕊 、宋小平 。本标准等同采用ISO国际标准:ISO 16531:2013。采标中文名称:表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准及相关电流或电流密度测量。


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标准号
GB/T 34326-2017
发布日期
2017-09-29
实施日期
2018-08-01
标准类别
方法
中国标准分类号
G04
国际标准分类号
71.040.40
71 化工技术
71.040 分析化学
71.040.40 化学分析
归口单位
全国微束分析标准化技术委员会
执行单位
全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会
主管部门
国家标准化管理委员会

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标准全文


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