GB/T 34898-2017 《微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法》-国家标准

标准基础信息

标准号：GB/T 34898-2017
标准中文名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法
标准英文名称：Micro electromechanical system technology—Test method for the nonlinear vibration of the MEMS resonant sensitive element

国家标准《微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位北京遥测技术研究所、中机生产力促进中心。主要起草人李庆丰、金小锋、李海斌、朱悦、程红兵。

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标准类别

方法

中国标准分类号

L55

国际标准分类号

31.200

31 电子学

31.200 集成电路、微电子学

归口单位

全国微机电技术标准化技术委员会

执行单位

全国微机电技术标准化技术委员会

主管部门

国家标准化管理委员会

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