GB/T 34971-2017 《半导体制造用气体处理指南》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 34971-2017
- 标准中文名称：半导体制造用气体处理指南
- 标准英文名称：Guide for gaseous effluent handling in semiconductor industry
国家标准《半导体制造用气体处理指南》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位中昊光明化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司、高麦仪器公司、广东华特气体股份有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海市计量测试技术研究院。主要起草人孙福楠 、牛艳东 、廖恒易 、杜汉盛 、王鸿 、方华 、陈鹰 、周鹏云 。
- 标准号
- GB/T 34971-2017
- 发布日期
- 2017-11-01
- 实施日期
- 2018-02-01
- 标准类别
- 基础
- 中国标准分类号
- G86
- 国际标准分类号
- 71.040.40
71 化工技术 71.040 分析化学 71.040.40 化学分析 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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