GB/T 35310-2017 《200mm硅外延片》-国家标准
目录
标准基础信息
- 标准号：GB/T 35310-2017
- 标准中文名称：200mm硅外延片
- 标准英文名称：200mm silicon epitaxial wafer
国家标准《200mm硅外延片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位南京国盛电子有限公司、有色金属技术经济研究院。主要起草人马林宝 、骆红 、杨帆 、金龙 、杨素心 。
- 标准号
- GB/T 35310-2017
- 发布日期
- 2017-12-29
- 实施日期
- 2018-07-01
- 标准类别
- 产品
- 中国标准分类号
- H82
- 国际标准分类号
- 29.045
29 电气工程 29.045 半导体材料 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
- 点击查看标准全文。