GB/T 36053-2018 《X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 36053-2018
- 标准中文名称：X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告
- 标准英文名称：Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry—Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting
国家标准《X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位中国计量科学研究院。主要起草人王海 、王梅玲 、张艾蕊 、宋小平 。本标准等同采用ISO国际标准：ISO 16413:2013。采标中文名称:X射线反射测量法评估薄膜的厚度、密度和界面宽度—仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告。
- 标准号
- GB/T 36053-2018
- 发布日期
- 2018-03-15
- 实施日期
- 2019-02-01
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- G04
- 国际标准分类号
- 71.040.40
71 化工技术 71.040 分析化学 71.040.40 化学分析 - 归口单位
- 全国微束分析标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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