GB/T 37049-2018 《电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》-国家标准
目录
标准基础信息
- 标准号：GB/T 37049-2018
- 标准中文名称：电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
- 标准英文名称：Test method for the content of metal impurity in electronic grade polysilicon—Inductively coupled-plasma mass spectrometry method
国家标准《电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位江苏中能硅业科技发展有限公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、有研半导体材料有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、新特能源股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司。主要起草人鲁文锋 、刘晓霞 、秦榕 、孙燕 、赵而敬 、王桃霞 、赵玉 、王忠慧 、柳德发 、张园园 、银波 、邱艳梅 、刘强 。
- 标准号
- GB/T 37049-2018
- 发布日期
- 2018-12-28
- 实施日期
- 2019-04-01
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- H17
- 国际标准分类号
- 77.040.30
77 冶金 77.040 金属材料试验 77.040.30 金属材料化学分析 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
- 点击查看标准全文。