GB/T 37053-2018 《氮化镓外延片及衬底片通用规范》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 37053-2018
- 标准中文名称：氮化镓外延片及衬底片通用规范
- 标准英文名称：General specification for epitaxial wafers and substrates based on gallium nitride
国家标准《氮化镓外延片及衬底片通用规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位东莞市中镓半导体科技有限公司、合肥彩虹蓝光科技有限公司、苏州纳维科技有限公司、南京大学电子科学与工程学院、中国电子技术标准化研究院。主要起草人丁晓民 、刘南柳 、潘尧波 、徐科 、修向前 、孙永健 、王香 、张国义 。
- 标准号
- GB/T 37053-2018
- 发布日期
- 2018-12-28
- 实施日期
- 2019-07-01
- 标准类别
- 产品
- 中国标准分类号
- H83
- 国际标准分类号
- 29.045
29 电气工程 29.045 半导体材料 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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