GB/T 4060-2018 《硅多晶真空区熔基硼检验方法》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 4060-2018
- 标准中文名称：硅多晶真空区熔基硼检验方法
- 标准英文名称：Test method for boron content in polycrystalline silicon by vacuum zone-melting method
国家标准《硅多晶真空区熔基硼检验方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位江苏中能硅业科技发展有限公司、亚洲硅业（青海）有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、峨嵋半导体材料研究所。主要起草人胡伟 、刘晓霞 、耿全荣 、鲁文锋 、王桃霞 、胡自强 、宗冰 、肖建忠 、万烨 、杨旭 。全部代替GB/T 4060-2007
- 标准号
- GB/T 4060-2018
- 发布日期
- 2018-09-17
- 实施日期
- 2019-06-01
- 全部代替标准
- GB/T 4060-2007
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- H17
- 国际标准分类号
- 77.040
77 冶金 77.040 金属材料试验 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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