GB/T 5226.33-2017 《机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 5226.33-2017
- 标准中文名称：机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件
- 标准英文名称：Electrical safety of machinary—Electrical equipment of machines—Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment
国家标准《机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件》由TC231（全国工业机械电气系统标准化技术委员会）归口，主管部门为中国机械工业联合会。主要起草单位中微半导体设备(上海)有限公司、北京机床研究所、上海微电子装备有限公司、北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司、沈阳拓荆科技有限公司、北京七星华创电子股份有限公司、中晟光电设备（上海）有限公司、理想太阳能（上海）有限公司、盛美半导体设备（上海）有限公司。主要起草人李天笑 、黄祖广 、王海涛 、田保峡 、郭和平 、沈红 、孙东曦 、潘菊凤 、孙岩 、刘忠武 、张志强 、李补忠 、薛瑞娟 。本标准等同采用IEC国际标准：IEC 60204-33:2009。采标中文名称:机械电气安全 机械电气设备 第33部分:半导体设备技术条件。
- 标准号
- GB/T 5226.33-2017
- 发布日期
- 2017-10-14
- 实施日期
- 2018-05-01
- 标准类别
- 安全
- 中国标准分类号
- J09
- 国际标准分类号
- 29.020
29 电气工程 29.020 电气工程综合 - 归口单位
- 全国工业机械电气系统标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国工业机械电气系统标准化技术委员会
- 主管部门
- 中国机械工业联合会
标准全文
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