收录自国家标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准基础信息 标准号：GB/T 34893-2017 标准中文名称：微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法 标准英文名称：Micro-electromechanical system technology—Measuring method for in-plane length measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer 国家标准《微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内 …
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