收录自国家标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准基础信息 标准号：GB/T 6621-1995 标准中文名称：硅抛光片表面平整度测试方法 标准英文名称：Test methods for surface flatness of silicon polished slices 国家标准《硅抛光片表面平整度测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位上海第二冶炼厂。全部代替GB 6621-1986被GB/T 6621-2009GB/T 6621-2009全部代替本标准等效采用ITU国际标准：ASTM …
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