GB/T 14146-2021 《硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法》-国家标准
目录
标准基础信息
- 标准号：GB/T 14146-2021
- 标准中文名称：硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法
- 标准英文名称：Test method for carrier concentration of silicon epitaxial layers—Capacitance-voltage method
国家标准《硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位南京国盛电子有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、中电晶华（天津）半导体材料有限公司、有研半导体材料有限公司、河北普兴电子科技股份有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、瑟米莱伯贸易（上海）有限公司、无锡华润上华科技有限公司、义乌力迈新材料有限公司。主要起草人骆红 、潘文宾 、杨素心 、赵扬 、赵而敬 、张佳磊 、李慎重 、黄黎 、严琴 、黄宇程 、皮坤林 。全部代替GB/T 14146-2009
- 标准号
- GB/T 14146-2021
- 发布日期
- 2021-05-21
- 实施日期
- 2021-12-01
- 全部代替标准
- GB/T 14146-2009
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- H21
- 国际标准分类号
- 77.040
77 冶金 77.040 金属材料试验 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
- 点击查看标准全文。