GB/T 16596-2019 《确定晶片坐标系规范》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 16596-2019
- 标准中文名称：确定晶片坐标系规范
- 标准英文名称：Specification for establishing a wafer coordinate system
国家标准《确定晶片坐标系规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位有色金属技术经济研究院、有研半导体材料有限公司、浙江海纳半导体有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、上海合晶硅材料有限公司。主要起草人卢立延 、孙燕 、潘金平 、杨素心 、楼春兰 、胡金枝 、李素青 。全部代替GB/T 16596-1996
- 标准号
- GB/T 16596-2019
- 发布日期
- 2019-03-25
- 实施日期
- 2020-02-01
- 全部代替标准
- GB/T 16596-1996
- 标准类别
- 基础
- 中国标准分类号
- H80
- 国际标准分类号
- 29.045
29 电气工程 29.045 半导体材料 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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