GB/T 37466-2019 《氮化镓激光剥离设备》-国家标准
目录
标准基础信息
- 标准号：GB/T 37466-2019
- 标准中文名称：氮化镓激光剥离设备
- 标准英文名称：Laser lift-off equipment used for GaN
国家标准《氮化镓激光剥离设备》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院。主要起草人孙永健 、刘鹏 、丁晓民 、冯亚彬 、汪青 。
- 标准号
- GB/T 37466-2019
- 发布日期
- 2019-06-04
- 实施日期
- 2019-10-01
- 标准类别
- 产品
- 中国标准分类号
- L95
- 国际标准分类号
- 31-550
31 电子学 31.550 电子产品生产设备 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
- 点击查看标准全文。