GB/T 37959-2019 《含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 37959-2019
- 标准中文名称：含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型
- 标准英文名称：Information model for containing process chamber IC equipment design
国家标准《含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型》由TC159（全国自动化系统与集成标准化技术委员会）归口，TC159SC5（全国自动化系统与集成标准化技术委员会体系结构、通信和集成框架分会）执行，主管部门为中国机械工业联合会。主要起草单位中车信息技术有限公司、清华大学、北京机械工业自动化研究所有限公司、中国石油规划总院。主要起草人顾明 、程嘉 、李丽 、季林红 、陈莉 、曹自立 、张颖 、黎晓东 、王海丹 、王峰 。
- 标准号
- GB/T 37959-2019
- 发布日期
- 2019-08-30
- 实施日期
- 2020-03-01
- 标准类别
- 基础
- 中国标准分类号
- J07
- 国际标准分类号
- 35.240.50
35 信息技术、办公机械 35.240 信息技术应用 35.240.50 信息技术在工业中的应用 - 归口单位
- 全国自动化系统与集成标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国自动化系统与集成标准化技术委员会体系结构、通信和集成框架分会
- 主管部门
- 中国机械工业联合会
标准全文
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