GB/T 38447-2020 《微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法》-国家标准

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  • 标准号:GB/T 38447-2020
  • 标准中文名称:微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法
  • 标准英文名称:Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration

国家标准《微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位北京大学、中机生产力促进中心、北京智芯传感科技有限公司、沈阳国仪检测技术有限公司、浙江博亚精密机械有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司。主要起草人张威 、张亚婷 、于振毅 、陆学贵 、朱悦 、石云波 、李海斌 、程逸轩 、周浩楠 、陈得民 。


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标准号
GB/T 38447-2020
发布日期
2020-03-06
实施日期
2020-07-01
标准类别
方法
中国标准分类号
L55
国际标准分类号
31.200
31 电子学
31.200 集成电路、微电子学
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位
全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

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