GB/T 38867-2020 《电子工业用四氯化硅》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 38867-2020
- 标准中文名称：电子工业用四氯化硅
- 标准英文名称：Silicon tetrachloride for electronic industry
国家标准《电子工业用四氯化硅》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位湖北晶星科技股份有限公司、湖北省标准化与质量研究院、洛阳中硅高科技有限公司、唐山三孚电子材料有限公司、湖北光谷标准创新科技有限公司、广东华特气体股份有限公司、浙江西亚特电子材料有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海市计量测试技术研究院、联雄投资（上海）有限公司、随州市信息与标准化所、达州市质量技术监督检验测试中心、西南化工研究设计院有限公司。主要起草人徐德 、张国光 、黄娣 、刘畅 、杨剑 、赵雄 、楚东旭 、王春英 、戴帅 、张竞 、黄国菲 、廖恒易 、陈艳珊 、杨利 、于青玉 、方华 、曹作斌 、曲庆 、陈鹰 、李春华 、黄辉 、谭鹏程 、邓远方 、周鹏云 、徐龙 、赵帅德 、唐霞梅 。
- 标准号
- GB/T 38867-2020
- 发布日期
- 2020-07-21
- 实施日期
- 2021-02-01
- 标准类别
- 产品
- 中国标准分类号
- G86
- 国际标准分类号
- 71.100.20
71 化工技术 71.100 化工产品 71.100.20 工业气体 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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