GB/T 38976-2020 《硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号:GB/T 38976-2020
- 标准中文名称:硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法
- 标准英文名称:Test method for the oxygen concentration in silicon materials—Inert gas fusion infrared detection method
国家标准《硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位有研半导体材料有限公司、上海合晶硅材料有限公司、有色金属技术经济研究院、北京聚睿众邦科技有限公司、厦门银固美能源科技有限公司。主要起草人王永涛 、孙燕 、徐新华 、胡金枝 、任丹雅 、赵志婷 、蔡丽艳 、杨素心 、陆敏 、林兴乐 。
- 标准号
- GB/T 38976-2020
- 发布日期
- 2020-07-21
- 实施日期
- 2021-06-01
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- H17
- 国际标准分类号
- 77.040
77 冶金 77.040 金属材料试验 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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