GB/T 40109-2021 《表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 40109-2021
- 标准中文名称：表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法
- 标准英文名称：Surface chemical analysis—Secondary-ion mass spectrometry—Method for depth profiling of boron in silicon
国家标准《表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位中国电子科技集团公司第四十六研究所。主要起草人马农农 、何友琴 、陈潇 、张鑫 、王东雪 、李展平 。本标准等同采用ISO国际标准：ISO 17560：2014。采标中文名称:表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法。
- 标准号
- GB/T 40109-2021
- 发布日期
- 2021-05-21
- 实施日期
- 2021-12-01
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- G04
- 国际标准分类号
- 71.040.40
71 化工技术 71.040 分析化学 71.040.40 化学分析 - 归口单位
- 全国微束分析标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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