GB/T 40577-2021 《集成电路制造设备术语》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 40577-2021
- 标准中文名称：集成电路制造设备术语
- 标准英文名称：Terminology for integrated circuit（IC）manufacturing equipment
国家标准《集成电路制造设备术语》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位中国电子技术标准化研究院、浙江晶盛机电股份有限公司、中电科电子装备集团有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、中微半导体设备（上海）股份有限公司、上海微电子装备（集团）股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、江苏卓远半导体有限公司。主要起草人张军华 、冯亚彬 、曹可慰 、曹建伟 、裴会川 、朱亮 、周哲 、武小娟 、杜若昕 、唐彩红 、丁晓民 、傅林坚 、魏唯 、田涛 、刘英斌 、李国平 、王宏智 。
- 标准号
- GB/T 40577-2021
- 发布日期
- 2021-10-11
- 实施日期
- 2022-05-01
- 标准类别
- 基础
- 中国标准分类号
- L95
- 国际标准分类号
- 31.220
31 电子学 31.220 电子电信设备用机电元件 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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