GB/T 26111-2023 《微机电系统（MEMS）技术 术语》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 26111-2023
- 标准中文名称：微机电系统（MEMS）技术 术语
- 标准英文名称：Micro-electromechanical system technology—Terms
国家标准《微机电系统（MEMS）技术 术语》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位中机生产力促进中心有限公司、西安知微传感技术有限公司、苏州大学、北京大学、无锡华润上华科技有限公司、中国科学院空天信息创新研究院、北京航空航天大学、上海交通大学、天津大学、北京航天控制仪器研究所、西安现代控制技术研究所、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、北京晨晶电子有限公司、天津新智感知科技有限公司、中国电子科技集团公司第十三研究所、中国科学院微电子研究所、广州广电计量检测股份有限公司、南京高华科技股份有限公司、杭州左蓝微电子技术有限公司、广州奥松电子股份有限公司、华东光电集成器件研究所、江苏普诺威电子股份有限公司、明石创新（烟台）微纳传感技术研究院有限公司。主要起草人顾枫 、宋秀敏 、李根梓 、孙立宁 、张大成 、夏长奉 、夏善红 、董全林 、张卫平 、胡晓东 、刘会聪 、邢朝洋 、刘奎 、熊斌 、张永斌 、张威 、崔波 、陈得民 、王玮冰 、明志茂 、李晓波 、SHUMINZHANG 、张宾 、张胜兵 、杨飞 、高峰 。GB/T 26111-2010（全部代替）GB/T 26111-2023即将实施本标准修改采用IEC国际标准：IEC 62047-1:2016。采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第1部分：术语和定义。
- 标准号
- GB/T 26111-2023
- 发布日期
- 2023-05-23
- 实施日期
- 2023-09-01
- 全部代替标准
- GB/T 26111-2010
- 标准类别
- 基础
- 中国标准分类号
- L59
- 国际标准分类号
- 31.080.99
31 电子学 31.080 半导体分立器件 31.080.99 其他半导体分立器件 - 归口单位
- 全国微机电技术标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国微机电技术标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
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