GB/T 41652-2022 《刻蚀机用硅电极及硅环》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 41652-2022
- 标准中文名称：刻蚀机用硅电极及硅环
- 标准英文名称：Silicon electrode and silicon ring for plasma etching machine
国家标准《刻蚀机用硅电极及硅环》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位有研半导体硅材料股份公司、山东有研半导体材料有限公司、新美光（苏州）半导体科技有限公司、浙江海纳半导体有限公司。主要起草人库黎明 、孙燕 、闫志瑞 、张果虎 、夏秋良 、潘金平 。
- 标准号
- GB/T 41652-2022
- 发布日期
- 2022-07-11
- 实施日期
- 2023-02-01
- 标准类别
- 产品
- 中国标准分类号
- H 82
- 国际标准分类号
- 29.045
29 电气工程 29.045 半导体材料 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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