GB/T 42106-2022 《纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 42106-2022
- 标准中文名称：纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法
- 标准英文名称：Nanotechnology—Fabrication of three dimensional nanostructures and devices—A strain method induced by ion beam irradiation
国家标准《纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院。主要起草单位中国科学院物理研究所、国家纳米科学中心、深圳市标准技术研究院。主要起草人顾长志 、杨海方 、李俊杰 、刘前 、王益群 、樊阳波 。
- 标准号
- GB/T 42106-2022
- 发布日期
- 2022-12-30
- 实施日期
- 2023-07-01
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- A42
- 国际标准分类号
- 07.030
07 数学、自然科学 07.030 物理学、化学 - 归口单位
- 全国纳米技术标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国纳米技术标准化技术委员会
- 主管部门
- 中国科学院
标准全文
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