GB/T 42274-2022 《氮化铝材料中痕量元素（镁、镓）含量及分布的测定 二次离子质谱法》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 42274-2022
- 标准中文名称：氮化铝材料中痕量元素（镁、镓）含量及分布的测定 二次离子质谱法
- 标准英文名称：Determination of the content and distribution of trace elements (magnesium, gallium) in aluminum nitride materials—Secondary ion mass spectrometry
国家标准《氮化铝材料中痕量元素（镁、镓）含量及分布的测定 二次离子质谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位北京科技大学、中国科学院半导体研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司、中国科学院青海盐湖研究所、青海圣诺光电科技有限公司。主要起草人齐俊杰 、魏学成 、闫丹 、李素青 、卫喆 、胡超胜 、李志超 、许磊 、王军喜 、李晋闽 、魏明 、刘江华 、张成荣 。
- 标准号
- GB/T 42274-2022
- 发布日期
- 2022-12-30
- 实施日期
- 2023-04-01
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- H17
- 国际标准分类号
- 77.040
77 冶金 77.040 金属材料试验 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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