GB/T 42902-2023 《碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 42902-2023
- 标准中文名称：碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法
- 标准英文名称：Test method for surface defects on silicon carbide epitaxial wafers—Laser scattering method
国家标准《碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位安徽长飞先进半导体有限公司、广东天域半导体股份有限公司、安徽芯乐半导体有限公司、南京国盛电子有限公司、浙江芯科半导体有限公司、河北普兴电子科技股份有限公司、中国科学院半导体研究所。主要起草人钮应喜 、袁松 、张会娟 、刘敏 、仇光寅 、李京波 、彭铁坤 、袁肇耿 、杨龙 、闫果果 。GB/T 42902-2023即将实施
- 标准号
- GB/T 42902-2023
- 发布日期
- 2023-08-06
- 实施日期
- 2024-03-01
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- H21
- 国际标准分类号
- 77.040
77 冶金 77.040 金属材料试验 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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