GB/T 20176-2025 《表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 20176-2025
- 标准中文名称：表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
- 标准英文名称：Surface chemical analysis—Secondary-ion mass spectrometry—Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials
国家标准《表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度》由TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院。主要起草单位清华大学、中国矿业大学（北京）、中国人民公安大学、北京大学。主要起草人李展平 、郭冲 、和平 、王富芳 、刘婕 、刘兆伦 、孙令辉 、李芹 、马静怡 、张硕 、周凌 、刘可心 、吴美璇 。GB/T 20176-2006（全部代替）GB/T 20176-2025即将实施本标准等同采用ISO国际标准：ISO 14237:2010。采标中文名称:表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度。
- 标准号
- GB/T 20176-2025
- 发布日期
- 2025-06-30
- 实施日期
- 2026-01-01
- 全部代替标准
- GB/T 20176-2006
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- G 04
- 国际标准分类号
- 71.040.40
71 化工技术 71.040 分析化学 71.040.40 化学分析 - 归口单位
- 全国表面化学分析标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国表面化学分析标准化技术委员会
- 主管部门
- 中国科学院
标准全文
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