GB/T 43725-2024 《直写成像式曝光设备》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 43725-2024
- 标准中文名称：直写成像式曝光设备
- 标准英文名称：Direct writing imaging exposure equipment
国家标准《直写成像式曝光设备》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位合肥芯碁微电子装备股份有限公司、广州兴森快捷电路科技有限公司、安徽省工业和信息化研究院、深南电路股份有限公司、四创电子股份有限公司、中国电子技术标准化研究院、合肥矽迈微电子科技有限公司、深圳市克洛诺斯科技有限公司、深圳拜波赫技术有限公司。主要起草人何少锋 、陈新 、邱醒亚 、乔书晓 、沈桂珍 、朱颖 、陈黎阳 、方林 、曲鲁杰 、许静平 、陈东 、崔良端 、陆培良 、吴怡然 、曹可慰 、赵俊莎 、李香滨 、严孝年 、鲁男 、李娜 、李照辉 、吴新民 。GB/T 43725-2024即将实施
- 标准号
- GB/T 43725-2024
- 发布日期
- 2024-03-15
- 实施日期
- 2024-10-01
- 标准类别
- 产品
- 中国标准分类号
- L97
- 国际标准分类号
- 31.260
31 电子学 31.260 光电子学、激光设备 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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