GB/T 43748-2024 《微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 43748-2024
- 标准中文名称：微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法
- 标准英文名称：Microbeam analysis—Transmission electron microscopy—Method for measuring the thickness of functional thin films in integrated circuit chips
国家标准《微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位广东省科学院工业分析检测中心、南方科技大学、胜科纳米（苏州）股份有限公司。主要起草人伍超群 、于洪宇 、乔明胜 、陈文龙 、周鹏 、邱杨 、黄晋华 、汪青 、程鑫 。GB/T 43748-2024即将实施
- 标准号
- GB/T 43748-2024
- 发布日期
- 2024-03-15
- 实施日期
- 2024-10-01
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- N 33
- 国际标准分类号
- 71.040.40
71 化工技术 71.040 分析化学 71.040.40 化学分析 - 归口单位
- 全国微束分析标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国微束分析标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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